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洗凈/去除(灰化)方案

半導(dǎo)體制造工程（高離子注入）的光刻膠灰化應(yīng)用案例

 

洗凈/去除(灰化)方案(圖1)洗凈/去除(灰化)方案(圖2)洗凈/去除(灰化)方案(圖3)

效果

室溫下高速度灰化

可以灰化各種半導(dǎo)體光刻膠

在高離子注入后灰化時(shí)不產(chǎn)生光刻膠爆裂



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