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熱門關(guān)鍵詞: In-situ洗凈 碳素纖維改質(zhì) 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導(dǎo)體襯底成膜
半導(dǎo)體襯底成膜方案
深溝槽襯底應(yīng)用案例(縱橫比1:15)
效果
在溝槽底部,從側(cè)壁到底部可以基本形成同一SiO2膜厚
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